随着半导体技术的不断突破，半导体产业在我国经济中的地位日益凸显。在这个日新月异的行业中，如何提高生产效率、降低成本，成为各大企业关注的焦点。当晶圆制程愈发复杂、生产车间数量增多时，车间转换的储存区域显得尤为必要。天车（OHT）就是为了提高物料运输效率，降低人力成本和减少污染风险而存在，在很大程度上改善了跨区搬运的不便。
01天车（OHT）简介
OHT (空中走行式搬送车) 是Overhead Hoist Transfer的简称，一种能在空中轨道上行驶之自动化搬运设备，由升降装置马达驱动皮带，自动抓取设置在晶圆加载机 (LPU, Load-Port Unit) 的前开式晶圆传送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod)，实现了晶圆在各加工区间快速稳定的搬运，且不占用洁净室地面空间，被广泛的使用在12寸半导体前端晶圆厂内的物料搬送，如制造过程中的在制品 (WIP, Work In Process)，不仅用于产线的机台 (Tool)，还用于机台和晶圆缓存器 (Buffer) 之间的传输作业。
组成部分：
天车搬运系统主要由以下几个部分组成：
a. 导轨：安装在厂房天花板上的轨道，用于吊车的移动。
b. 吊车：沿着导轨移动的起重设备，用于抓取和放置物料。
c. 载具：用于承载和保护物料（如晶圆盒）的专用容器。
d. 控制系统：负责控制吊车运动、抓取和放置物料的自动化系统。
02天车搬运系统的优势
OHT （天车）沿直线轨道的平均速度可达 5m/s（18km/h），沿曲线轨道的平均速度可达 1m/s（3.6km/h）。
与其他自动搬运系统（如自动导引车和输送带）相比，OHT具有以下优势：
a. 提高生产效率：OHT可以在短时间内将物料从一个地点移动到另一个地点，减少了物料运输所需的时间，从而提高了生产效率。
b. 减少人工干预：OHT的自动化运作减少了人员与物料的接触，降低了污染风险。
c. 节省空间：OHT安装在天花板上，不占用地面空间，提高了空间利用率。
d. 降低成本：OHT的自动化运作降低了人力成本和维护成本。
e. 提高可靠性：OHT具有较高的运行稳定性和可靠性，确保了生产过程的连续性。
03天车在我国的发展前景
新兴的国产AMHS厂商进入半导体领域需要经历较长的验证过程，随着我国产业不断发展，全国很多地区都在新建晶圆厂以满足国内不断增长的半导体需求。这些新建的晶圆厂中自动化搬运设备（AMHS）已是标配，再加上之前兴建的8-12寸存量生产线自动化改造需求，未来4年内，国内晶圆厂AMHS系统平均每年的市场需求约为30-40亿元。
目前，国产AMHS天车方案已在晶圆厂的测试线或局部线运行。相信随着时间的推移，国内厂商不断积累经验、技术创新，以及在本地化设计、制造、服务、交期短、成本低等优势的助力下，国内AMHS产业必将取得长足的发展。
艾斯达克
艾斯达克作为一家专业从事智慧车间整体解决方案的高科技企业。凭借多年的技术积累和行业经验，为半导体硅片厂、芯片制造厂、芯片封装厂等提供高效、准确的物料搬送解决方案。
OHT作为艾斯达克的核心产品，帮助企业提高生产效率，降低生产成本，提升产品良率。未来，艾斯达克将继续致力于技术创新，为行业的智能化发展做出更大的贡献。
图片来自：半导体综研
