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项目 |
参数 |
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外型尺寸 |
长1200mm*宽500mm*高800mm |
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导引方式 |
激光引导 |
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设备重量 |
450kg (up to 600kg) |
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行走方式 |
⼤型万向轮, 可进出货梯 |
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驱动方式 |
视觉系统⾃动对位载货顶升 |
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爬坡角度 |
上下斜坡(8度) |
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导航精度 |
±10mm |
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通讯方式 |
⽀援E84/WIFI 通讯 |
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充电方式 |
充电桩自动充电 |
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安全感应范围 |
0-3M可调/紧急制动距离小于20mm |
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安全防护 |
内建智能视觉系统，声光报警搭配碍物检测传感器与机械防撞机构双重防护 |
半导体晶圆仓协作机器人能够自动执行晶圆存取任务，减少人工操作时间，提高生产效率。
配备传感器和视觉系统的半导体晶圆仓协作机器人能够准确感知晶圆位置，实现准确搬运，减少损坏风险。
半导体晶圆仓协作机器人可以与仓库管理系统无缝对接，实现晶圆存取任务的自动化和信息化管理。
采用控制算法和路径规划技术，半导体晶圆仓协作机器人能够灵活适应不同的生产环境和任务需求。
通过自动化晶圆存取任务，半导体晶圆仓协作机器人可以降低人力成本，提高生产效率，从而降低生产成本。
半导体晶圆仓协作机器人配备多重安全保护系统，能够确保在搬运过程中晶圆和设备的安全，提高生产过程的稳定性。
